[实用新型]内置式结构紧凑型旋转阴极装置有效
| 申请号： | 202021884091.7 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN213507172U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 靳伟;曹永军;陈建飞 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，包括阴极壳体、靶管、旋转驱动装置、冷却液管路、导电电刷及外部电源装置，其中靶管设置在阴极壳体内并通过单滚动轴承与旋转驱动装置构成传动连接以使靶管在旋转驱动装置的驱动下旋转，导电电刷与旋转驱动装置相连并与外部电源装置相导通，冷却液管路用于对靶管进行冷却。本实用新型的优点是：1)单滚动轴承和动静环的密封结构配合使用极大的压缩了阴极端部的尺寸空间，提高了基片成膜的均匀区；2)尾部取消了固定或支撑结构可以增加基片成膜的均匀区；3)可以在有限的空间内，在不减小平面阴极装置基片均匀区的情况下可以实现装置的升级。 | ||
| 搜索关键词： | 内置 结构 紧凑型 旋转 阴极 装置 | ||
【主权项】：
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