[实用新型]一种激光晶圆切割自动装夹装置有效
| 申请号： | 202021901175.7 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN213470018U | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 巩铁建;陶为银 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;B23K26/38;B23K37/04 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 范小方 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种激光晶圆切割自动装夹装置，包括底座、固定块和滑动块，所述底座上方固定安装有固定块，所述底座内部右侧开设有滑轨槽，且滑轨槽内部滑动连接有滑动块，所述底座右侧一端固定连接有正反转电机，所述滑动块左侧上方固定连接有第二半圆托盘，所述伸缩杆位于气缸外部的一端固定连接有陶瓷吸盘。该激光晶圆切割自动装夹装置，结构设置合理，设置陶瓷吸盘，让晶圆芯片平稳吸附在吸盘上，通过设置激光测距传感器，对陶瓷吸盘上的晶圆芯片进行监测，启动正反转电机，滑动块滑动对晶圆芯片进行装夹，半圆卡槽的设置能让晶圆芯片不会松动，能够更好的保证激光晶圆切割的安全作业，促进激光晶圆切割行业的发展。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 切割 自动 装置 | ||
【主权项】：
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