[实用新型]一种低辐射镀膜线用遮板装置有效
| 申请号： | 202021905778.4 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN213172547U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 周慕蓉;罗雨潇;付成杰;刘宇;张钟宇 | 申请（专利权）人： | 中建材光电装备（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 | 代理人： | 刘巍 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，具体是一种低辐射镀膜线用遮板装置，包括遮挡板和密封轴，所述遮挡板和所述密封轴的一端固定连接，所述密封轴的另一端设置有环套，所述密封轴上分别设置有第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈，所述第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈的外部包覆有密封套。本实用新型的有益效果是，通过设置的第一密封件、第二密封件、无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈和挡圈，可以有效阻挡外部空气进入磁控溅射镀膜的工作空间内，遮挡板可以实现360度转动，而不影响其密封性能，装置的整体结构较简单，而且组装安装都比较方便，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辐射 镀膜 线用遮板 装置 | ||
【主权项】：
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