[实用新型]预热装置有效
| 申请号： | 202021906411.4 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN213086091U | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 廖明富;郝力强;于子洋;张天强 | 申请（专利权）人： | 苏州清越光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 马吉兰 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示器件制造技术领域，具体涉及一种预热装置。预热装置包括：箱体(10)，具有开口；箱门(20)，可开合地设置在开口处；支撑件(30)，设置在箱体(10)内并用于支撑坩埚；真空泵(40)，与箱体(10)连接；加热件，设置在箱体(10)上，以对坩埚内的有机材料进行预热。本实用新型的技术方案通过单独设置预热装置对有机材料进行预热处理，可以使粉末有机材料内部的气体逸出，预热处理时气体释放造成的有机材料喷料和蒸发的有机材料不再影响蒸镀膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 预热 装置 | ||
【主权项】：
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