[实用新型]一种排放装置和半导体加工设备有效
| 申请号： | 202021909579.0 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN214051546U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 高君;邵克坚 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李晓光 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种排放装置和半导体加工设备，该排放装置包括：涡轮泵和与所述涡轮泵排放口连接的排放管道；所述排放管道中设置有排放物浓度处理装置，用于降低所述排放物的浓度。也就是说，该排放装置可以稀释排放物的排放浓度，避免排放物在排放管道等装置中积聚，进而提高排放效率，使清理周期变长，极大程度的提高了半导体加工设备的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 排放 装置 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021909579.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种食品加工用椰宝去皮设备
- 下一篇：一种建筑施工用具有降尘结构的防护栏
