[实用新型]一种qPlus传感器有效
| 申请号： | 202021914791.6 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN213181611U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 江颖;边珂 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01Q70/08 | 分类号： | G01Q70/08 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 陈亚斌;关兆辉 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及高分辨表面成像领域，具体而言，涉及一种qPlus传感器。包括针尖托、传感器托板和石英音叉，所述针尖托上设置有限位柱；所述传感器托板上设置有第一固定通孔、第二固定通孔和第一限位通孔，所述第一固定通孔与所述第二固定通孔平行设置；所述第一限位通孔设置在所述第一固定通孔和所述第二固定通孔之间；所述石英音叉设置在所述传感器托板上；本实用新型通过将传感器托板刚性固定在扫描探头内部，从而大幅提升qPlus的品质因数和工作性能，使其适用于室温大气下的STM/AFM的高分辨成像。本实用新型的qPlus传感器具备制作简易，品质因子可以达到5000、工作振幅小于50pm和空间分辨率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 qplus 传感器 | ||
【主权项】：
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