[实用新型]气体混合装置及半导体制造设备

摘要

本实用新型提出一种气体混合装置，其包含：主体、气体混合槽、第一通气槽、第二通气槽及第三通气槽；主体，包含有第一面，第一面设有第一开口及第二开口；气体混合槽，设置于主体内部；第一通气槽，设置于主体内部，第一通气槽自第一开口连通至气体混合槽；第二通气槽，设置于主体内部，其具有第一端及第二端，第一端与第二开口连接；第三通气槽，设置于主体内部，第三通气槽自气体混合槽连通至第二通气槽的第二端，俾使第一通气槽的直线延伸与第三通气槽的直线延伸形成夹角。