[实用新型]一种射频等离子体可视化屏蔽装置有效
| 申请号： | 202021931079.7 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN212936272U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王裕;高明;钟子扬;张永亮;陆星铭;黄逸凡 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05K9/00 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 朱伟军 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于等离子体技术领域，涉及一种射频等离子体可视化屏蔽装置，包括放电主体和可视化屏蔽结构；所述放电主体包括介质管、正电极和接地电极，所述介质管固定在屏蔽壳内，所述可视化屏蔽结构包括电磁屏蔽玻璃；电磁屏蔽玻璃设置在屏蔽壳上。本实用新型既能在大气压条件下为射频等离子体施加屏蔽效应，又能对等离子体产生区域进行观察和调节的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 等离子体 可视化 屏蔽 装置 | ||
【主权项】：
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