[实用新型]一种利用紫外光辅助裂解的双组分聚对二甲苯气相沉积涂层制备装置

摘要

本实用新型公开了一种利用紫外光辅助裂解的双组分聚对二甲苯气相沉积涂层制备装置，属于涂层制备技术领域；包括沉积舱、原料蒸发舱、80nmUC紫外光源、石英玻璃窗、裂解室和真空泵；沉积舱与真空泵连通，沉积舱连接两个裂解室，裂解室设有石英玻璃窗，石英玻璃窗外设有80nmUC紫外光源，每个裂解室连接一个原料蒸发舱；本实用新型通过紫外光源降低裂解温度，通过调整加热温度以及载气混合方法控制舱内前驱体复合沉积方式，实现沉积物的改性。