[实用新型]一种固体前驱体升华装置

摘要

本实用新型属于沉积设备技术领域，公开一种固体前驱体升华装置。包括卧式圆柱容器，该容器的两端设有流体入口和流体出口，容器内沿其轴心线设有空心转轴并从流体入口延伸出来，空心转轴在伸出流体入口之后设有进气口，空心转轴在流体入口内的部位开设有气孔；空心转轴在伸出流体入口之后连接有电机；容器内空心转轴上同心均匀连接有若干个盘状件，盘状件直径＜容器内直径，盘状件上均匀开设有流体通孔，盘状件上避开流体通孔涂覆有固态前驱体；容器外部设有加热单元，所述加热单元包括加热器以及与其连接的温度调节器。本实用新型提高了载气饱和度，保证了固态前驱体蒸汽在载气中的浓度稳定。