[实用新型]一种生产一氧化硅的卧式真空炉

摘要

本实用新型提供了一种生产一氧化硅的卧式真空炉，解决了用于生产一氧化硅的真空炉的密封性较差的问题。本实用新型采用两个分离、密封的原料盛放罐、成品收集罐，两者通过柔性的波纹管II连通，在进行真空抽取、加热反应时，密封的原料盛放罐和成品收集罐组成的内循环，完全不予外界接触，保证了产出成品的质量水平的稳定性；把原料盛放罐、成品收集罐采用互相分离式设计，各自可以独立移动，就使得取料、放料拆分为两个独立的步骤，使得放料时，管道以及成品收集罐内未冷却完毕的气态料可以继续冷却，无需一直等待气态料完全冷却完毕，才能再次加料，减少必要的取料次数，保证了生产的连续性，提高了真空炉的一氧化硅加工效率。