[实用新型]一种亚微米多自由度超高真空样品台有效
| 申请号： | 202021953178.5 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN212931485U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 赵嘉峰;池彬;谢斌平;欧宏炜 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/30 | 分类号： | G01D11/30;G01D11/00 |
| 代理公司： | 上海国瓴律师事务所 31363 | 代理人： | 傅耀 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种亚微米多自由度超高真空样品台。包括旋转平台、旋转轴和亚微米三维平移台；其中，所述亚微米三维平移台包括样品杆，所述样品杆位于所述亚微米三维平移台下方，并与所述亚微米三维平移台固定连接，所述旋转平台位于所述亚微米三维平移台下方，并通过所述旋转轴与所述亚微米三维平移台连接。其中本实用新型的有益效果是：解决了现有技术中样品杆不在旋转轴上时，旋转时，测量微区移动，没法盯着一点测量旋转时，总长更长、相对轴线做旋转运动时偏摆幅度大的技术问题。本实用结构简单，便于使用，精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微米 自由度 超高 真空 样品 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司，未经费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021953178.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种旋压式加密闸阀
- 下一篇：一种基于梁式结构的方形竖冷窑
