[实用新型]拉晶炉有效
| 申请号： | 202021970769.3 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN213013165U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 雷友述 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上海）自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种拉晶炉，包括：主炉体、过滤罐、真空泵、第一真空压力计、第二真空压力计、主控制阀及控制器；主炉体和过滤罐通过第一排气管路相连接，过滤罐和真空泵通过第二排气管路相连接，第一真空压力计设置于第一排气管路与主炉体相邻的一端，第二真空压力计设置于第一排气管路与过滤罐相邻的一端；主控制阀设置于第一排气管路上，控制器与第一真空压力计、第二真空压力计及主控制阀相连接，当第二真空压力计的检测数值大于第一真空压力计的检测数值时，控制器控制主控制阀处于关闭状态。本实用新型可以防止过滤罐及管路内的氧化物倒灌进主炉体内造成晶棒乃至机台的报废，可以有效降低机台的故障率，有助于提高生产品质。 | ||
| 搜索关键词： | 拉晶炉 | ||
【主权项】：
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