[实用新型]一种真空过渡传输装置有效
| 申请号： | 202021975522.0 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN213386715U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 艾金虎 | 申请（专利权）人： | 埃频（上海）仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G53/24 | 分类号： | B65G53/24;B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 李镝的 |
| 地址： | 201415 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空过渡传输装置，包括过渡腔体，其通过第一插板阀与第一真空系统的腔体联通，通过所述第二插板阀与第二真空系统的腔体联通；第一传输机构，用于过渡腔体与第一真空系统的腔体之间的样品传送；以及第二传输机构，用于过渡腔体与第二真空系统的腔体之间的样品传送。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 过渡 传输 装置 | ||
【主权项】：
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