[实用新型]晶圆自动排序机工作台防护装置有效
| 申请号： | 202021992834.2 | 申请日： | 2020-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN213415524U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 戚孝峰;周鹏程 | 申请（专利权）人： | 争丰半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B25H3/02 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 苏利 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆自动排序机工作台防护装置，包括工作台、机柜以及机箱，所述工作台内设有空腔，所述工作台的上表面边缘处竖直开设有安装槽，所述工作台上设有防护罩，所述防护罩竖直滑动设置在安装槽内，所述防护罩朝向机箱的一侧与所述机箱贴合，所述防护罩的顶端设有顶盖，所述顶盖可拆卸连接在防护罩上，所述工作台上设有用于带动防护罩竖直方向移动的升降组件。本申请具有减少晶圆粉尘污染，提高晶圆加工质量的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 排序 机工 防护 装置 | ||
【主权项】：
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