[实用新型]一种旋转台限位装置有效
| 申请号： | 202021999699.4 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN212272886U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 袁嘉欣;江旭初;吴火亮;陈啸虎;汤成燕 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F16D71/00 | 分类号： | F16D71/00;F16D63/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体硅片制造及检测领域，公开一种旋转台限位装置。旋转台限位装置包括限位固定件和限位触发件，限位固定件包括底座、导向件、限位块和磁性组件，底座被配置为安装于旋转台的固定组件上，底座设置有第一限位位置和第二限位位置，导向件安装于底座，限位块与导向件活动连接，限位块能沿导向件在第一限位位置和第二限位位置之间运动，磁性组件用于使限位块与第一限位位置或第二限位位置相吸附；限位触发件被配置为安装于旋转台的旋转组件上，限位触发件随旋转组件转动时能与限位块相接触，并带动限位块运动。本实用新型减小了旋转限位机构的尺寸，并确保限位块限位的稳定性，避免限位块在受冲击时发生晃动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 限位 装置 | ||
【主权项】：
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