[实用新型]一种投影镜头的工作距离和成像倍率自动校准装置有效
| 申请号： | 202022003399.2 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN212675256U | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 李文静;顾科占;李全统 | 申请（专利权）人： | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/28 | 分类号： | G02B7/28 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 秦超 |
| 地址： | 230051 安徽省合肥市包河经济开发*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种投影镜头的工作距离和成像倍率自动校准装置，属于光刻机技术领域，包括镜头筒、调节机构、工业相机和后台终端，所述镜头筒的内部顶端安装投影镜头，内部中端安装可调镜片，所述可调镜片由所述调节机构控制升降，所述工业相机安装在镜头筒的下方且所述工业相机与所述镜头筒的镜头下端面固定，所述工业相机、所述可调镜片和所述投影镜头处于同一轴线上，所述工业相机与所述后台终端之间信号连接，所述后台终端安装有驱动所述调节机构的电路模块。通过工业相机采集投影镜头的成像效果和倍率上传给后台终端，后台终端再利用调节机构调节可调镜片改变成像效果和倍率满足使用需求，从而实现自动校准的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 镜头 工作 距离 成像 倍率 自动 校准 装置 | ||
【主权项】：
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