[实用新型]单晶炉热屏结构有效
| 申请号： | 202022004275.6 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN213037874U | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 伊冉 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 曹广涛 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种单晶炉热屏结构，包括内热屏、外热屏、固定部件、热屏上部断热材盖、保护盖板、提升环，内热屏套装在外热屏内，外热屏的顶部固定设置有连接凸边，提升环设置在连接凸边的下部，固定部件与提升环固定连接，且固定部件的底部与提升环的上部表面相贴合，热屏上部断热材盖固定设置在连接凸边及提升环的上部，保护盖板固定设置在热屏上部断热材盖的上部；本实用新型在使用的时候可以减轻氩气对断热材的冲刷，使得氩气难以将热屏断热材上的碳粉，纤维等带入溶汤，提高成晶率，改善晶棒体内碳含量，延长断热材使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉热屏 结构 | ||
【主权项】：
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