[实用新型]一种固体源容器及升华气体供应系统

摘要

本实用新型属于升华气体供应技术领域，公开一种固体源容器及升华气体供应系统。包括固体源容器本体，固体源容器本体底端封闭、顶部敞口，固体源容器本体内腔在其底壁上设置有两个相交的隔板将整个固体源容器本体内腔分为四个区域，其中两个相对的区域为气体通道区域，另两个相对的区域为固体源放置区域，所述隔板的高度低于固体源容器的高度；以两个隔板的相交线为中心轴线设置有载气管道口；气体通道区域的固体源容器本体底壁上均匀开设有第一气孔。本实用新型中，固体源容器设置有气体通道区域和固体源放置区域，气体通道区域设置有第一气孔，固体源容器上下交错叠放，可以防止气体对流过快，以使载气与固体源蒸汽充分接触混合。