[实用新型]照明模块以及缺陷检测装置有效
| 申请号： | 202022018847.6 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN212483390U | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王婷婷;刁雷;于大维;李运锋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种照明模块及缺陷检测装置，所述照明模块用于基底的缺陷检测，所述照明模块包括：光源、线型光导组件以及反射式匀光组件；所述光源与所述线型光导组件的入光端连接，所述线型光导组件的出光端与所述反射式匀光组件连接；其中，所述光源发出的探测光依次经过所述线型光导组件以及反射式匀光组件，之后在一待检测基底的表面形成预定尺寸的线型光斑。如此设置，通过将线型光导组件与反射式匀光组件相结合，所述线型光导组件将光源输出的圆形光斑直接转化为线型，在获得线型光斑的过程中未造成大的能量浪费，使得在线阵扫描检测时能量利用率明显提升，进而提高检测速度，提高检测产率。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 模块 以及 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
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