[实用新型]压力缸、加压装置及热压烧结设备有效
| 申请号： | 202022025429.X | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN212643221U | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 岑玮;靳清;吴昊;胡博 | 申请（专利权）人： | 深圳市先进连接科技有限公司 |
| 主分类号： | F15B15/14 | 分类号： | F15B15/14;F15B15/20;F15B3/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人： | 苗广冬 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区沙井街道后亭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种压力缸、应用该压力缸的加压装置和应用该加压装置的热压烧结设备。所述压力缸包括：缸体和多个活塞杆，所述缸体中设有多个压力腔，相邻的两个压力腔之间通过第一通孔连通，所述缸体还设有连通一所述压力腔的第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔呈同轴设置，所述缸体开设有多个进气孔和多个出气孔，一所述进气孔和一所述出气孔与一所述压力腔连通；每一所述活塞杆可活动地设于一所述压力腔内，并穿过一所述第一通孔伸入另一所述压力腔，以使多个活塞杆依次抵接，其中一活塞杆穿过所述第二通孔伸出所述缸体。本实用新型的技术方案，得以提高热压烧结设备中的压力调节范围，满足不同类型的半导体器件的加压需求。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 加压 装置 热压 烧结 设备 | ||
【主权项】：
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