[实用新型]纳米悬臂梁阵列及谐振式阵列气体传感器有效
| 申请号： | 202022032507.9 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN212341096U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 陈婷婷;孙建海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036;G01N5/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘歌 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种纳米悬臂梁阵列及谐振式阵列气体传感器，该纳米悬臂梁阵列包括衬底和悬臂梁阵列，悬臂梁阵列的每个悬臂梁均包括：支撑层，设置在衬底上，与衬底接触的一端形成U型悬臂梁支撑臂，支撑层远离U型悬臂梁支撑臂的一端悬空设置在衬底上；金属导电层，设置在支撑层上；以及敏感层，设置在远离U型悬臂梁支撑臂一侧的金属导电层上，其上设有敏感单元。本实用新型采用双臂支撑的悬臂梁结构，可以有效提高传感器的灵敏度；采用双臂支撑结构的悬臂梁阵列具有多个敏感单元，可以快速高灵敏地响应多种化学气体。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 悬臂梁 阵列 谐振 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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