[实用新型]一种提高硅芯结晶速度的装置有效
申请号: | 202022040176.3 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN211897167U | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 金胜;薛建云;施红亮;邱风 | 申请(专利权)人: | 新疆登博新能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/08 | 分类号: | C30B28/08;C30B29/06 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 孟阿妮;张小勇 |
地址: | 830000 新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州昌吉市高新*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型公开了硅芯制备技术领域中一种提高硅芯结晶速度的装置,包括气体输送环、第一出气板和第二出气板等,冷源惰性气体沿气体输送环进入到第一出气管和第三出气管,并沿第一出气板和第二出气板排出,位置相对的第一出气板和第二出气板为相互对称的弧形板,位置相对的第一出气板和第二出气板位于硅芯周侧,第一出气板和第二出气板均为空腔结构,位置相对的第一出气板和第二出气板相对的侧壁上分别均匀开设有出气孔,由于第一出气板和第二出气板环绕硅芯,因此其出气更加均匀,利于均匀冷却硅芯,提高硅芯结晶速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 结晶 速度 装置 | ||
【主权项】:
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