[实用新型]一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备

摘要

本实用新型公开一种带有负压装置的钙钛矿薄膜涂布设备，包括：底座；涂布平台，设置于底座上，且与底座滑动连接，涂布平台用于承载涂布基底；模头装置，包括：模头架以及设置于模头架上的模头，在模头内部设有溶液通道，模头底部的溶液通道出液口处设有模唇，模头能够上下升降；供液装置，与溶液通道的入液口连接，为模头提供溶液；负压装置，包括：负压盒，负压盒通过抽真空管路与真空泵连接，负压盒设置于涂布平台上，且与涂布平台滑动连接。本实用新型在模头和涂布基底之间增加了负压，一方面可以有效减小涂布区域的气压，另一方面给液桥施加一个负压拉力，使液桥更稳定，从而大大降低孔的产生。