[实用新型]一种物理气相沉积腔体配件装置

摘要

本实用新型公开了一种物理气相沉积腔体配件装置，包括第一组合腔、第二组合腔、凸柱、固定机构和顶片架；所述第一组合腔顶部的中央位置处设有顶口，所述第一组合腔表面底部的一周设有四组等距的L型插杆，所述第一组合腔的底部固定安装有第二组合腔，所述第二组合腔表面顶部的一周设有四组等距的插管，所述插管的一侧固定安装有固定机构。本实用新型设置了凸柱，第一组合腔和第二组合腔内部的两侧均设有凸柱，凸柱增大第一组合腔和第二组合腔内部两侧的表面积，从而可以提高第一组合腔和第二组合腔内部的附着力，使的第一组合腔和第二组合腔的内壁可以附着更多的附着物，使用时间更长，延长清理周期。