[实用新型]一种薄膜厚度均匀性检测系统有效
| 申请号： | 202022066969.2 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN213022870U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 熊娟;龙梦龙;董明建;张东煜;王天赋;钱波;王斌;宋晓晓;周海霞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种薄膜厚度均匀性检测系统，包括安装在机架上的光信号发射装置和光信号接收装置，所述光信号发射装置包括多个光源探头，所述光信号接收装置包括多个接收探头，每一光源探头与相应的一接收探头沿被测试薄膜厚度方向相对设置，使由每一光源探头发射的光线在沿厚度方向垂直穿过所述薄膜后能够被相应的一接收探头接收，并且至少所述光信号接收装置还与计算机控制系统连接。本实用新型提供的薄膜厚度均匀性检测系统，通过对涂层多个位置进行特定波长下的透过率测试，可用于对涂层厚度均匀性的原位检测，透过率的测试数据通过控制系统输出反馈，来调整涂膜系统的进料量以及传动速度，从而达到涂层厚度均匀性在线可调控的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 厚度 均匀 检测 系统 | ||
【主权项】：
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