[实用新型]一种抗颠振分子泵系统有效
| 申请号： | 202022069067.4 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN213331586U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 邓高飞;刘淑婷;陈林;齐英 | 申请（专利权）人： | 北京中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/66;F04D29/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术开发区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种抗颠振分子泵系统，属于分子泵技术领域，包括：机组底板；分子泵，连接在机组底板的顶面上；前级泵，连接在机组底板的顶面上，并通过管路与所述分子泵的排气口处连通；控制器，连接在机组底板的顶面上，并分别与分子泵、前级泵电连接；减振器，一端连接在机组底板的底面上，另一端适于固定。本实用新型的分子泵、前级泵以及控制器全部集成在机组底板上，使得整体结构紧凑且安装方便；机组底板的底面设置有减振器，能有效地吸收消除其它设备对分子泵系统的振动影响，保障了分子泵系统的性能和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抗颠振 分子 系统 | ||
【主权项】：
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