[实用新型]晶圆针测机用空气净化装置有效
| 申请号： | 202022069343.7 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN213725397U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 车伟峰;唐晓辉 | 申请（专利权）人： | 矽品科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/10 | 分类号： | B01D46/10;H01L21/66 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 蒋慧妮 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆针测机用空气净化装置，所述净化装置设置于所述晶圆针测机的一侧，其特征在于：包括壳体，所述壳体内设置有风机，所述壳体的进风端设置有格栅挡板，所述壳体的出风端设置有用于净化空气的滤芯，外部气流进入壳体后通过滤芯的进一步过滤进入到晶圆针测机。本实用新型的有益效果体现在：设置于晶圆针测机的一侧，通过加装滤芯，使过滤后的空气进入到机台内部，从而保证机台内部呈现正压，减少内部微尘进入，避免晶圆受污染。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆针测机用 空气净化 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于矽品科技（苏州）有限公司，未经矽品科技（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022069343.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种农业蔬菜种植施肥培土装置
- 下一篇：一种隧道防护门
