[实用新型]一种真空镀膜设备用保护装置有效
| 申请号： | 202022071762.4 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN213295482U | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 康宗海 | 申请（专利权）人： | 深圳市荣凯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;F16F15/067 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 谭雪婷;刘曰莹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观湖街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备用保护装置，包括底座，所述底座顶部两侧均焊接有减震机构，且减震机构顶部焊接有一侧开有开口的保护外壳，所述保护外壳开口位置处铰接有门板，且保护外壳顶部和底部之间两侧均焊接有隔板，所述保护外壳底部贯穿焊接有通气管，且通气管的一端通过法兰连接有真空泵，两个所述隔板之间焊接有连接杆，且连接杆之间焊接有坩埚。本实用新型通过设置有保护外壳，可以保护内部的电子元件不会受到外界的损伤，保护外壳与减震机构进行连接，可以降低机器运行时产生的震动，保护外壳开口位置处铰接有门板，门板的另一端通过卡扣与保护外壳进行固定，便于物料的放入和取出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 备用 保护装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市荣凯光电科技有限公司，未经深圳市荣凯光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022071762.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：移动终端NFC自动化压力测试系统
- 下一篇：智能显示器支架驱动安装结构
- 同类专利
- 专利分类
