[实用新型]晶圆载片清洗治具

摘要

本实用新型是一种晶圆载片清洗治具，其包含二结构相同的放置架且彼此能分离地相互叠合，放置架包含一外框及多个放置单元，放置单元排列设置在外框内，放置单元包含一内框、多个承载件及多个上限位件，内框围绕形成一容置空间，承载件环绕间隔凸设于内框上且突伸入容置空间内，承载件具有一抵顶面，抵顶面为一斜面，上限位件环绕间隔凸设于内框的顶侧面，借由将承载件的抵顶面设置为斜面且用以支撑晶圆载片，当清洗晶圆载片时承载件与晶圆载片以线接触的形式相互碰撞相较于现有技术以面接触的形式碰撞可有效降低晶圆载片表面的刮痕，进而提升产品的质量，降低产品的不良率。