[实用新型]一种测试装置有效
| 申请号： | 202022111587.7 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN212844317U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 牛满科;赵阳;黄少锋 | 申请（专利权）人： | 北京坦达联轩控制技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100165 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及机械领域，解决了目前测试MEMS器件时线缆较多、干扰大的技术问题。本实用新型的测试装置包括：上端盖、测试板和下端盖，上端盖和下端盖的外缘分别设置有多个第一凸台和第二凸台，第一凸台、测试板和第二凸台上分别开设有多个第一螺孔、第二螺孔和第三螺孔，经同时穿过第一螺孔、第二螺孔和第三螺孔的螺栓，使上端盖、测试板和下端盖形成密闭空间；测试板上铺设有覆铜线，覆铜线外引至上端盖或下端盖的外缘外；下端盖远离测试板的一侧，导通连接有与下端盖一体化连接的筒体。本实用新型用于减少MEMS器件测试时的信号干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 装置 | ||
【主权项】：
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