[实用新型]一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备

摘要

本实用新型公开了一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备，其技术方案是：包括氧气筒，所述氧气筒一端固定连接有第一分叉管，所述第一分叉管一端固定连接有湿氧筒，所述第一分叉管另一端固定连接有扩散筒，所述氧气筒一端设有气体处理筒，所述气体处理筒一端固定连接有第二分叉管，所述第二分叉管一端与湿氧筒固定连接，所述第二分叉管另一端与扩散筒固定连接，所述湿氧筒底部轴心处固定连接有固定块，所述固定块顶部固定连接有第一固定管，一种用于制备多晶电池片的湿氧扩散设备有益效果是：有效的解决湿氧过程中容易出现湿氧不完全，氧气分布不均匀的问题，同时硅片单面的气体接触使得扩散的效率变低的问题。