[实用新型]一种高纯电子化学品的充装系统有效
| 申请号： | 202022133466.2 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN213040302U | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 金向华;夏致远;王毅;曹文权;李刚 | 申请（专利权）人： | 金宏气体电子材料（淮安）有限责任公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17D1/02;F17D3/01;B01D46/00 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 223100 江苏省淮安市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯电子化学品的充装系统，包括至少2个产品罐、至少2组过滤机构、以及输送装置；所述一号产品罐通过输送装置与第一级过滤机构的入口连接，所述第一级过滤机构的出口与所述一号产品罐的顶部连接，构成第一级循环过滤体系；所述一号产品罐通过输送装置与第二级过滤机构的入口连接，所述第二级过滤机构的出口与所述一号产品罐的顶部连接，构成第二级循环过滤体系；所述第一级循环过滤体系中的过滤机构的过滤精度小于所述第二级循环过滤体系中过滤机构的过滤精度。本实用新型新通过设置至少2个产品罐，形成了两套多级循环过滤体系，从而实现了连续式工作，从而大大提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 电子 化学品 系统 | ||
【主权项】：
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