[实用新型]一种硅片翻转装置和硅片生产系统

摘要

本实用新型提供一种硅片翻转装置和硅片生产系统，其中包括：传输组件；翻转组件，包括驱动轴以及对称设置于所述驱动轴两侧的第一轮盘和第二轮盘，所述第一轮盘的靠近所述驱动轴的第一侧面均匀开设有多个沿径向延伸的第一沟槽，所述第二轮盘的靠近所述驱动轴的第二侧面均匀开设有多个沿径向延伸的第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽对称设置；控制器，与所述驱动轴、所述输送跑道和所述输出跑道的控制端均连接，所述控制器用于控制所述驱动轴带动所述第一轮盘和所述第二轮盘同步转动。仅通过沟槽与硅片两侧边的线接触即可实现硅片在不同工序之间的翻转，极大程度地避免面接触可能导致的硅片损伤，提高硅片翻转和生产的质量。