[实用新型]一种用于大直径单晶硅切割定位的治具有效
申请号: | 202022159380.7 | 申请日: | 2020-09-27 |
公开(公告)号: | CN214214330U | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 刘亮;穆光裕 | 申请(专利权)人: | 辽宁中电科半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 沈阳友和欣知识产权代理事务所(普通合伙) 21254 | 代理人: | 杨群;郭悦 |
地址: | 121000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于大直径单晶硅切割定位的治具,包括底座,所述底座的表面开设有弧形槽,所述弧形槽的内壁两侧均开设有凹槽,所述凹槽的内壁固定装配有传送带,所述传送带的表面与弧形槽的内壁处于同一平面,所述底座的表面两侧均开设有盲孔。通过弧形槽和传送带的配合,需要对单晶硅移动时,传送带带动大直径的单晶硅进行移动,移动过后,在弧形槽的作用下单晶硅还是位于底座上中间的位置,再次对单晶硅进行固定,便于快速的定位,方便进行切割,在弹簧的作用下顶杆贴合到单晶硅的外壁上,通过多个顶杆的限位能够对不同尺寸的单晶硅进行固定,灵活性能强,适用范围广泛,方便对大直径的单晶硅进行切割,省时省力。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 直径 单晶硅 切割 定位 | ||
【主权项】:
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