[实用新型]一种靶材环件安装结构有效
| 申请号： | 202022163348.6 | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN213895982U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种靶材环件安装结构，所述安装结构包括环件本体、环件本体配件、内配合组件、外配合组件、固定件和溅射设备配件，所述溅射设备配件环绕设置于环件本体的外侧，其上设有通孔；内配合组件一端与环件本体配件接触，另一端呈凹陷结构，外配合组件的一端呈凸出结构，所述凸出结构穿过溅射设备配件的通孔与内配合组件中凹陷结构组合；所述内、外配合组件为贯穿空心结构，固定件贯穿内、外配合组件将两者固定。本实用新型通过靶材环件安装结构中内、外配合组件结构的改变，使之能够适用于多种类靶材环件的安装使用，避免因环件尺寸变化而难以安装的问题；所述安装结构改进方式简单，无需进行大的结构变化，成本较低，适用性广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材环件 安装 结构 | ||
【主权项】：
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