[实用新型]一种集成电路生产用通风系统有效

专利信息
申请号: 202022174115.6 申请日: 2020-09-28
公开(公告)号: CN213514253U 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 李广 申请(专利权)人: 江苏盐芯微电子有限公司
主分类号: F24F7/003 分类号: F24F7/003;F24F8/22;F24F8/108;F24F8/158;F24F13/28;A61L9/20
代理公司: 盐城众创睿智知识产权代理事务所(普通合伙) 32470 代理人: 任翠涛
地址: 224000 江苏省盐城市高新区智能*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种集成电路生产用通风系统,所述通风筒左侧固定连接喇叭口右侧,所述通风筒左侧内壁固定连接隔尘网外圈边缘,所述通风筒内靠近中部内壁固定连接电机架两侧,所述电机架中部固定连接电机中部,所述电机左侧固定连接进气风扇中部。该集成电路生产用通风系统,能够在通过电机带动进气风扇将车间内的空气通过通风筒排出的过程中,车间内的空气通过通风筒内的HEPA高效微粒滤网制成的高效滤网和活性炭层时,能够有效的将车间内排出空气中的PM2.5等0.3微米以上的颗粒物和异味进行消除,同时经过紫外灯时能够有效的通过紫外灯的紫外线对通过的车间空气进行杀菌处理,能够有效的保证排出的空气不会对外界的空气造成污染。
搜索关键词: 一种 集成电路 生产 通风 系统
【主权项】:
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