[实用新型]一种离子注入机的离子束测量导向装置

摘要

本实用新型提供了一种离子注入机的离子束测量导向装置，属于导向机构技术领域。该离子注入机的离子束测量导向装置包括基础组件和导向组件。所述基础组件包括支撑板、支撑柱和离子注入机本体，所述导向组件包括第一横板、第二横板、第一气缸、金属反射板、第一固定块、第二气缸、第三固定块、滑轨、第四固定块、滑块、电量传感器和连接柱，使用时，电量传感器感应离子束的信息，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求，该导向装置金属反射板角度调节范围大，即对离子束角度调节的范围大，适用性更强。