[实用新型]一种硅片用链式抛光装置有效
| 申请号： | 202022184799.8 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN213795941U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈其成;裴银强;陈培良 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片用链式抛光装置，包括滚轮、以及设置在滚轮传送方向上的碱抛区、第一水洗区、酸洗区、第二水洗区、喷淋区、烘干区、滚轮区、皮带传送区及下料区；所述烘干区和滚轮区设置有翻转机构，所述翻转机构包括驱动装置、两侧的第一支架、设置在两侧第一支架之间的多个翻转页。本实用新型的装置大大提高了硅片抛光面的表面质量，降低了不良品的产生；对现有的链式设备稍加改造便可实现，有利于推广利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 链式 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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