[实用新型]一种气浮隔振平台有效
申请号: | 202022191697.9 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213981807U | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 王爱玲;王秉稷 | 申请(专利权)人: | 微纳光科(廊坊)仪器有限公司 |
主分类号: | F16F15/023 | 分类号: | F16F15/023;G02B7/00 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 施艳荣 |
地址: | 065300 河北省廊坊市*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本申请公开了一种气浮隔振平台。包括:水平设置的台面和设置在所述台面底部的支撑组件;所述支撑组件包括:至少四根竖直设置的支撑柱;所述支撑柱均匀分布;所述支撑柱与所述台面之间设置有重载气浮隔振器;所述支撑柱的底部设置有调节组件,用于调整所述台面的高度以及平整度;所述支撑柱的底部开设有容纳槽,且其内壁设有螺纹。本申请具体地利用水平设置的台面与设置在所述台面底部的支撑组件组成此光学平台,在台面与支撑组件之间设置重载气浮隔振器,使其在一定空间内的承载明显提高,并且能够根据实际不同的承载要求,来安装不同规格尺寸的重载气浮隔振器;通过在所述支撑柱的底部设置调节组件,以调整所述台面的高度以及平整度。 | ||
搜索关键词: | 一种 气浮隔振 平台 | ||
【主权项】:
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