[实用新型]一种混酸系统用酸料过滤装置有效
| 申请号： | 202022199883.7 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN213725802U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 苏富琨;余光明;戴荣昌 | 申请（专利权）人： | 福建雅鑫电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D61/00 | 分类号： | B01D61/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 许娆 |
| 地址： | 365050 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种混酸系统用酸料过滤装置，涉及半导体生产加工用相关设备技术领域。本实用新型包括过滤组件，过滤组件包括过滤箱、第一纳米膜、第二纳米膜、第三纳米膜和第四纳米膜，第一纳米膜、第二纳米膜、第三纳米膜和第四纳米膜依次等距连接于过滤箱内中部设置的安装组件内部，安装组件包括安装框架、滑块和滑轨，安装框架内两侧中部滑轨内侧中部滑动的滑块前端与第一纳米膜、第二纳米膜、第三纳米膜和第四纳米膜连接，第一纳米膜、第二纳米膜、第三纳米膜和第四纳米膜上中部扣块与密封板底中部开设的扣槽之间扣接连接。本实用新型通过设置安装组件和过滤组件结构，具有提升半导体蚀刻效率，便于过滤装置拆装更换的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 系统 用酸料 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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