[实用新型]硅片放料装置有效
| 申请号： | 202022237073.6 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN213264578U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 闫善韵 | 申请（专利权）人： | 苏州璞智自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32533 | 代理人： | 赵艾亮 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片放料装置。该放料装置包括机台、石英舟、石英舟移动机构、硅片对齐机构一、双移动座线性模组、硅片抓取机构、硅片下沉机构、硅片对齐机构二、定位机构，所述机台上安装有石英舟移动机构、硅片对齐机构一、双移动座线性模组、硅片下沉机构、硅片对齐机构二，双移动座线性模组位于硅片对齐机构一和硅片对齐机构二上方。本实用新型通过可移动的石英舟来承载硅片。通过硅片对齐机构一将抓取前的硅片进行对齐。通过硅片对齐机构二将叠合在一起后的硅片进行对齐。通过硅片抓取机构进行硅片抓取。通过硅片下沉机构将硅片下沉入石英舟内。本申请提高了硅片装入石英舟的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 装置 | ||
【主权项】：
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