[实用新型]一种磁控溅射环热处理工装有效
| 申请号： | 202022239700.X | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN213388818U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张晓娜;张延宾;曹晓萌;李利利;宋泽鹏;李勇军;肖长朋;李嘉 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | C21D9/40 | 分类号： | C21D9/40;C21D1/26;C21D1/773;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了属于磁控溅射靶材制造领域的一种磁控溅射环热处理工装；其中三个单孔夹持组和双孔夹持组通过筋板呈环形安装于料盘的上端面；溅射环环体上开有五个安装孔，其中两个安装孔位于矩形开口的两侧；溅射环环体中位于矩形开口的两侧的两个安装孔通过销轴安装于双孔夹持组内，不位于矩形开口的两侧的其余三个安装孔通过销轴安装于单孔夹持组内。本实用新型相比于无工装时溅射环自然平铺或叠加放置，使用热处理工装可实现逐层叠放，可充分利用炉膛空间，提高热处理效率，节约了生产成本。通过与溅射环的五点接触式重叠装配，有效保护了成品环体的滚花表面，环体受热均匀，不易变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 热处理 工装 | ||
【主权项】：
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