[实用新型]具有侧壁大镀膜孔的钼舟

摘要

提供一种具有侧壁大镀膜孔的钼舟，属于镀膜装置技术领域，包括钼舟本体，钼舟本体包括有用于盛放镀膜料的钼舟舟舱，钼舟舟舱两端对称制有钼舟舟翼，钼舟舟舱上部开口且开口通过钼舟舟盖盖合，钼舟舟舱两侧壁上各设有一个便于镀膜大零件的大镀膜孔。本实用新型采用在侧壁上制大镀膜孔，提高舟舱内膜料蒸发出口面积，提高膜料蒸发速度，特别适用于大零件的快速均匀镀层工艺，提高大零件镀膜的效率，镀膜质量稳定，均匀性好；而且彻底解决了蒸发口的堵塞，加工工艺较现有的多孔式结构更加简单方便，延长钼舟使用寿命，降低生产成本，能够达到最佳的金属镀膜效果。