[实用新型]用于小件镀膜的减速蒸发组合钼舟有效
申请号: | 202022251743.X | 申请日: | 2020-10-12 |
公开(公告)号: | CN213708467U | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 赵锋;毛姬红 | 申请(专利权)人: | 宝鸡市天瑞有色金属材料有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 宋秀珍;翟小梅 |
地址: | 721013 陕西省宝鸡市高新*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供一种用于小件镀膜的减速蒸发组合钼舟,属于镀膜装置技术领域,具有舟体,舟体包括舟舱,舟舱两端设有舟翼,舟舱内腔中设有蒸发盖,蒸发盖上设有便于气化膜料通过的一级蒸发镀膜孔,蒸发盖上部的舟舱内腔中设有蒸发缓冲隔板,蒸发缓冲隔板两侧边沿设有便于气化膜料通过的镀膜缓冲缺口,舟舱上开口通过舟盖盖合,舟盖将蒸发盖和蒸发缓冲隔板封于舟舱内,舟盖上设有便于气化膜料通过的二级蒸发镀膜孔。本实用新型实现了对气化膜料的三道缓冲阻挡减速,有效降低了膜料蒸发速度,蒸发雾化小,实现对小零件的均匀镀膜,并且降低了消耗,减小了成本。 | ||
搜索关键词: | 用于 小件 镀膜 减速 蒸发 组合 | ||
【主权项】:
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