[实用新型]硅片的高效运送装置

摘要

本实用新型公开一种硅片的高效运送装置，包括安装于机架上的运料底板、设置于运料底板一端的上料座、输入组件和输出组件，所述输入组件和输出组件分别安装于机架上并呈上下叠置，所述上料座可沿竖直方向上下移动，当上料座移动至上端时，其与输入组件的一端邻接，所述输入组件将料篮运送至上料座上，当上料座移动至下端时，其与输入组件的一端邻接，并将料篮运送至输入组件上；所述上料座的外侧设置有一用于驱动上料座上下运动的上料驱动组件，所述上料座上方放置有一料篮，若干个沿竖直方向间隔排列的料片依次装载于此料篮内。本实用新型实现了对硅片的逐片自动取拿，既提高了自动化程度和加工效率，又可以避免人为损伤硅片，提高加工的效率和质量。