[实用新型]一种提高LED紫外线面光源光照均匀性UV膜解胶装置有效
| 申请号： | 202022283545.1 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN213459656U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 米辉;王海名;王建文 | 申请（专利权）人： | 上海技垚科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 汪发成 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高LED紫外线面光源光照均匀性UV膜解胶装置，涉及半导体封装测试技术领域。本实用新型包括承载板、上支撑板、圆筒罩、散热板、LED面光源、透紫外线玻璃；圆筒罩内周侧壁上设置有镜面反射罩；待解胶产品包括晶圆、设置于晶圆周侧的支撑环以及将晶圆和支撑环贴附在一起的UV膜；待解胶产品放置于承载板表面通孔位置并与LED面光源相对应平行设置。本实用新型使用整面的LED光源，灯源不用做运动，然后通过合理的紫外光反射罩设计，提高LED紫外线面光源照射的均匀性，将待解除UV膜胶性的12寸晶圆区域的UV膜接收紫外线强度的均匀性高到95％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 led 紫外线 光源 光照 均匀 uv 膜解胶 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
