[实用新型]基板烘烤设备有效
申请号: | 202022294671.7 | 申请日: | 2020-10-15 |
公开(公告)号: | CN212876216U | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 陈安顺 | 申请(专利权)人: | 群翊工业股份有限公司 |
主分类号: | H05K3/22 | 分类号: | H05K3/22 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 中国台湾桃*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种基板烘烤设备,包含:箱体,具有烘烤通道;烘烤装置,烘烤装置自箱体外对于烘烤通道进气并进行加热;以及载送装置,包括多数个链轮、链条以及吊架,吊架用以夹持基板,链条抵于多数个链轮并且随着链轮的旋转而移动吊架,其中,至少一个链轮具有多数个轴承,多数个轴承为环状排列,链条抵于可旋转的多数个轴承,多数个轴承个别的旋转轴线为平行于链轮的旋转轴线。因轴承会对应于受力方向旋转而减少与链条之间的摩擦,所以能减少粉尘的产生。 | ||
搜索关键词: | 烘烤 设备 | ||
【主权项】:
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