[实用新型]一种基板减薄装置有效
| 申请号： | 202022301624.0 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN213506583U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陆卉 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215301 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及液晶显示技术领域，公开了一种基板减薄装置。所述基板减薄装置包括反应槽、篮具、喷淋组件及供液组件，其中，反应槽内盛装有刻蚀介质，篮具用于将基板支撑为竖直姿态，且篮具容置于反应槽内，基板浸没于所述刻蚀介质，基板的两侧均设置有所述喷淋组件，供液组件与喷淋组件相连通，喷淋组件用于朝其正对的基板喷射液柱，以使基板保持竖直姿态。本实用新型的基板减薄装置，基板在减薄变软后，其两侧的喷淋组件喷射的液柱能够使基板保持平衡，并在水平方向支撑基板，使基板保持竖直姿态以继续减薄到更薄的尺寸；基板的两侧同时进行减薄，减薄效率高；减薄过程不需对基板进行其他操作，不易损伤基板，产品良率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板减薄 装置 | ||
【主权项】：
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