[实用新型]一种硅片生产用硅石清理机构有效
申请号: | 202022302621.9 | 申请日: | 2020-10-15 |
公开(公告)号: | CN213559026U | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 伊观兰 | 申请(专利权)人: | 天津西美半导体材料有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00 |
代理公司: | 深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728 | 代理人: | 刘英 |
地址: | 300450 天津市滨海新区华苑产业区海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅片生产相关技术领域,且公开了一种硅片生产用硅石清理机构,包括外壳、岩棉板、进料口、卡槽和固定板,所述外壳的一侧设置有环氧树脂,且环氧树脂的一侧设置有第一魔术贴,所述岩棉板设置在外壳的一侧,且岩棉板的一侧设置有第二魔术贴,所述第二魔术贴的一侧设置有检修口,且检修口的一侧设置有旋转螺栓,所述进料口设置在外壳的一侧,且进料口的一侧设置有防堵口,同时防堵口的一侧设置有固定螺栓,所述卡槽的一侧设置有卡块。该硅片生产用硅石清理机构,通过设置减震弹簧可以对该装置起到有效的减震功能,在使用过程中,可以根据使用需求对该装置进行有效的减震处理,从而有效的提升了该装置的使用功效。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 生产 硅石 清理 机构 | ||
【主权项】:
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