[实用新型]一种硅片生产用硅石清理机构有效

专利信息
申请号: 202022302621.9 申请日: 2020-10-15
公开(公告)号: CN213559026U 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 伊观兰 申请(专利权)人: 天津西美半导体材料有限公司
主分类号: B08B13/00 分类号: B08B13/00
代理公司: 深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728 代理人: 刘英
地址: 300450 天津市滨海新区华苑产业区海*** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型涉及硅片生产相关技术领域,且公开了一种硅片生产用硅石清理机构,包括外壳、岩棉板、进料口、卡槽和固定板,所述外壳的一侧设置有环氧树脂,且环氧树脂的一侧设置有第一魔术贴,所述岩棉板设置在外壳的一侧,且岩棉板的一侧设置有第二魔术贴,所述第二魔术贴的一侧设置有检修口,且检修口的一侧设置有旋转螺栓,所述进料口设置在外壳的一侧,且进料口的一侧设置有防堵口,同时防堵口的一侧设置有固定螺栓,所述卡槽的一侧设置有卡块。该硅片生产用硅石清理机构,通过设置减震弹簧可以对该装置起到有效的减震功能,在使用过程中,可以根据使用需求对该装置进行有效的减震处理,从而有效的提升了该装置的使用功效。
搜索关键词: 一种 硅片 生产 硅石 清理 机构
【主权项】:
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